Mikroelektromehaaniline seade ja selle valmistamisviis ning tehnilised teostuse elemendid

Tehnilised teostuse elemendid:

4. Ülaltoodud probleeme silmas pidades on käesolev leiutis välja pakutud. Käesolev leiutis pakub välja uudse memmiseadme struktuuri, mis võimaldab vältida konsooltalade kasutamist, millel on suurem vastupidavus ja lihtsam struktuur. Käesolev leiutis pakub ka uudset memmiseadme tootmismeetodit, millel on lihtsad protsessietapid ja mis võib parandada tootmissaagist.

5. Vastavalt näidisteostusele võib mikroelektromehaaniline seade sisaldada: isoleerivat substraati; aluspinnale paigutatud tugipost, mis toetab kaitsemassi; substraadi ümbritsemine aluspinnal Üks või mitu paari elektroodiplaate, mis on paigutatud massiplokile, iga elektroodiplaatide paar on paigutatud massiploki vastaskülgedele; ja isoleeriv katteplaat, millele on paigutatud paar elektroodiplaate, mis vastavad ühele või mitmele elektroodiplaadi paarile, või mitu paari elektroode, kui katteplaat katab ühte või mitut paari elektroodiplaate, siis üks või mitu paari elektroodi elektroodid on vastavalt elektrilises kontaktis ühe või mitme elektroodiplaadi paariga.

6. Mõnes teostuses on tugipost, kaitsemass ja üks või mitu elektroodiplaatide paari valmistatud juhist või pooljuhtmaterjalist ning tugipostiga ühendatud juhtivad juhtmed on ühendatud põhimiku ühelt küljelt. Plii välja, ühe või mitme elektroodipaariga ühendatud juhtivad juhtmed juhitakse katteplaadi ühelt küljelt välja.

7. Mõnes teostuses on katteplaat moodustatud ühe või mitme elektroodipaari vahelise avaga, et paljastada tugiposti ja tõkestusmass.

8. Mõnes teostuses on proovimassi kõrgus madalam kui ühe või mitme elektroodiplaadi paari kõrgus.

9. Mõnes teostuses kasutatakse mikroelektromehaanilist seadet kiirendusmõõturina ja üht või enamat elektroodplaatide paari kasutatakse mahtuvuse muutuste mõõtmiseks, mis on tingitud proovimassi asendi muutustest.

10. Mõnes teostuses kasutatakse mikroelektromehaanilist seadet güroskoopina ja üks või mitu elektroodiplaatide paari sisaldavad vähemalt esimest paari elektroodiplaate ja teist paari elektroodiplaate, esimene paar elektroodiplaate A-ajami jaoks. signaal rakendatakse proovimassi võnkumiseks esimese paari elektroodiplaatide vahel ja teist paari elektroodiplaate kasutatakse mahtuvuse muutuste mõõtmiseks, mis on tingitud proovimassi asendi muutustest.

Võta meiega ühendust:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: pluss 86-755-23699351

Mob: pluss 8618666663894