Safiirvahvli otsese liimimise meetod ja protsess safiirist rõhutundliku konstruktsiooni jaoks

1. Käesolev leiutis kuulub memmi-tehnoloogia tehnikavaldkonda, täpsemalt safiir-survetundliku struktuuriga safiirplaatide vahetuks ühendamise meetodisse.

Taustatehnika:

2. Traditsiooniliste pooljuhtide rõhuandurite töötemperatuur on üldiselt alla 600 kraadi. Piesoresistiivse rõhuanduri maksimaalne töötemperatuur on 600 kraadi, soi rõhuanduri maksimaalne töötemperatuur on alla 500 kraadi ja räni-safiirrõhuanduri maksimaalne töötemperatuur. Temperatuur 350 kraadi. Elektrilisi rõhuandureid on raske kõrgema temperatuuriga keskkondades rakendada.

3. Praegu on välismaale ilmunud safiirkiipidel põhinevad fiiberoptiliste rõhuandurite tooted, näiteks Suurbritannia oxsensise ettevõtte laine-fiire dpt950 kiudoptiline rõhuandur, maksimaalne töötemperatuur võib ulatuda 600 kraadini ja sondi esiots võib ulatuda. 1000 kraadi. Samas pole Hiinas teatatud safiirkiipidel põhinevate optiliste kiudude rõhuandurite uurimistulemustest. Hiina patendidokument cn103234673 avalikustab kõrgele temperatuurile vastupidava rõhuanduri mikro-nanostruktuuri, mis sisaldab: ränikarbiidist membraani, peegeldavat kilet, poolpeegeldavat kilet, sidekihti, ränikarbiidist substraati, kapslikihti ja safiir optiline kiud; peegeldav kile on kaetud ränikarbiidmembraani keskel, poolpeegeldav kile on kaetud safiirkiu otsaga, sidekiht (ränidioksiid) asub ränikarbiidmembraani ja ränikarbiidist substraadi vahel, ja safiirkiud on ühendatud ränikarbiidi substraadiga läbi kapselduskihi (kõrge temperatuuriga keraamiline liim). Ülaltoodud rõhuanduri ettevalmistusprotsess seisneb Fabry-Paroti interferentsiõõnsuse moodustamises, kasutades ränikarbiidmembraanile kaetud peegeldavat kilet ja safiir-optilise kiu otsa kaetud poolpeegeldavat kilet, et teostada rõhu tuvastamist kõrgel temperatuuril. temperatuuri keskkond.

4. Praegu on kodumaise safiirvahvli (vahvli tasemel) otseliimimisprotsess alles teoreetilise uurimise staadiumis ja küpset safiirvahvli (vahvlitase) otsese sidumisprotsessi tehnoloogiat veel pole. Hiinas on vahvlitasandil liimimine tavaliselt suunatud ränipõhistele materjalidele ja liimimistemperatuur on alla 500 kraadi, näiteks räni-räni sidumine, räni-klaasi anoodne sidumine jne. Hiina patendidokument cn 105236350 a kirjeldab otsest sidumist. meetod safiiri rõhutundlike laastude jaoks, ainult temperatuur on 1350 kraadi, liimimisprotsessi ajal pole survet (rõhu) reguleeritud ega temperatuuri ja rõhu ühendamist.

Võta meiega ühendust:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: pluss 86-755-23699351

Mob: pluss 8618666663894