Mikroelektromehaaniline seade ja selle valmistamise meetod
Sep 16, 2022
Jäta sõnum
1. Käesolev leiutis käsitleb mikroelektromehaanilist seadet ja selle valmistamismeetodit.
Taustatehnika:
2. Mikroelektromehaaniline seade (mems) on mikroelektroonika tehnoloogia, pooljuhtide tootmistehnoloogia ja muude valdkondade põhjal terviklikult välja töötatud tehnoloogia, mis ühendab mitmeid tehnilisi valdkondi, nagu litograafia, korrosioon, õhukese kile sadestamine, mikrotöötlus ja täppistöötlus. täppisseadmete miniaturiseerimine, et rahuldada erinevate rakenduste vajadusi. Levinud mäluseadmete hulka kuuluvad kiirendusmõõturid ja güroskoobid.
3. Praegused kiirendusmõõturid või güroskoobid kasutavad massiploki toetamiseks enamasti kahte või enamat konsooltala struktuuri. Massiplokki saab kiirenduse tõttu nihutada või võnkuma panna, mõõtes samal ajal massiplokist põhjustatud mahtuvuse muutust. Mõõta saab kiirendust ja nurkkiirust. Siiski on konsooltala tootmisprotsess keeruline ja konsooltalade pinge tasakaalustamatuse probleem on kalduvus ilmneda.
Võta meiega ühendust:
Email: zhang@pride-cnc.com
Tel: pluss 86-755-23699351
Mob: pluss 8618666663894